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XQ6J-GⅠ激光球面干涉仪

XQ6J-GⅠ (激光球面干涉仪) XQ6J-GⅠ Laser Interferometer

日期:2019-02-07 人气:
特点:

功能齐全、操作简便,、经济实用。球面零件曲率半径R值和面形精度实现了同机测量,为使用者省去了制作标准样板的烦脑更降低了生产成本。

Feature:
Multiple functions、user-friendly control、economical and practical. Radius of curvature(R) value and PV can be noncontact testing at once. Free from making the standard template as well as reducing costs.
技术参数:

1.仪器配置球面标准镜反射标准球面的面形偏差(PV)值小于0.03μm(λ/20)(F0.75)

2.第一标准平面(A面),直径D1=Φ60mm,平面的面形偏差(PV)小于0.03μm(λ/20)

3.第二标准平面(B面),直径D1=Φ60mm,平面的面形偏差(PV)小于0.03μm(λ/20)

4.准直系统 ——————工作直径Φ60mm,焦距f=200mm

5.光源规格 —————— 激光ZN180(He-Ne)

Technical Parameters.

1.Reference Spheres (B) ,with f/numbers f/0.75 ,PV<0.03μm(λ/20,@632.8nm)

2.Transmission Flat(A),working dia. D=Φ60mm,PV<0.03μm(λ/20,@632.8nm)

3.Reference Flat (B) , working dia. D=Φ60mm,PV<0.03μm(λ/20,@632.8nm)

4.Optical Collimation System —— working diaD=Φ60mm,focal length f=200mm

5.Light Source ——————— Laser ZN180(HE-NE)

XQ6J-GⅠ (激光球面干涉仪)  XQ6J-GⅠ Laser Interferometer

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